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应用材料推出结合300mm原子层沉积与化学气相沉积的系统


应用材料(Applied Materials)推出新型的iSprint Centura系统,是结合300mm原子层沉积与化学气相沉积的系统,可运用在亚90纳米钨金属接触区量产应用上。

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