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TEL推出第7代基板用的FPD等离子蚀刻/灰烬系统


Tokyo Electron公司(TEL)将在今年夏天推出新的FPD等离子蚀刻/灰烬系统Impressio,该Impressio系统可处理第7代用于FPD生产工艺的基板。

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