借助PAT测试实现半导体器件的零缺陷制造
作者： Scott Bibbee, Pintail Technologies

随着汽车中电子元器件数量的不断增加，必须严格控制半导体器件的质量以降低每百万零件缺陷率(DPM)，美国汽车电子委员会AEC-Q001规范推荐了一种零件平均测试(PAT)方法。本文重点介绍了实施PAT的两种主要方法-实时PAT和统计后处理(SPP)。作者通过研究认为在晶圆探测和最终测试两个阶段都进行PAT测试才能实现真正的零缺陷。