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KLA-Tencor新款电子光束检测平台适用65nm工艺

为了加速在65nm和45nm半导体工艺节点的晶体创新，KLA-Tencor推出新一代电子光束检测平台──eS32；该产品具有优良的细微电子与小型物理缺陷捕获能力，能协助晶圆厂将许多新的物质与装置架构整合至大量生产中。

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