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CMOS MEMS工艺开创新的里程碑
作者：:Kaigham Gabriel

大多数MEMS器件所需的独特制造工艺限制了传统MEMS技术的发展。与此相反，CMOS MEMS生产工艺则代表了单一器件制造的一个里程碑。CMOS MEMS是一种新方法，它在标准CMOS半导体材料内直接构造MEMS结构。

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