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诺发公司推出专门针对45nm和32nm节点设计的铜电镀填充系统

诺发系统有限公司日前推出SABRE电镀填充系统系列产品中的最新产品SABRE Extreme。新平台提供了经过改善的化学溶液、电镀工艺和新的硬件功能，以解决向32nm技术节点转变过程中出现的复杂问题。经验证，它的灵活性能适应多代产品的要求。

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