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MEMS存储器采用悬浮门，有望成为高密度非易失性存储器候选者
作者：:Nicolas Mokhoff

意法半导体研究人员与瑞典Ecole Polytechnique Federale de Lausanne的微纳米电子器件实验室的同事日前在国际电子器件大会上描述了一种单晶体管存储器单元设计，将悬浮门MOSFET与微机电门电极相集成。

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