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传统半导体厂商对MEMS的思考


从技术角度分析传统半导体厂商生产MEMS的可行性,综合分析其市场、技术、工艺、成本。MEMS芯片在设计、工艺、生产方面与IC的异同,MEMS压力传感器Die的设计、生产、销售链。

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