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FEI发布双光束工具,满足45nm以下STEM成像分析要求


FEI公司日前扩展了其产品系列,推出双光束产品系列的下一代工具。该工具被称为Expida 1255S,据称是业内首个将晶圆级STEM(扫描透射电子显微术)试样制备与超高分辨率成像和分析集成在单个工具中的双光束系统。

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