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采用双层晶圆处理技术，ASML助客户刷新生产纪录
作者：:John Walko

半导体设备制造商ASML声称其一个主要的台湾客户采用其Twinscan i-Line scanners系统每个小时处理150个单位的晶圆，24小时不间断，达到一天处理3,596单位晶圆的记录。

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