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100nm以下工艺提高参数良率的设计规则
作者：:Jim Bordelon, Prashant Mania

设计师在针对100nm以下工艺进行设计时，必须考虑参数对制造良率的影响。为了解决新的工艺-设计交互问题，需要能够促成制造商和设计师合作的框架。这种框架必须首先提供表征方案以获取工艺与设计良率改善所必需的数据。本文将讨论影响良率的参数问题以及改善参数良率的方法。

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