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NIST新技术“擦亮”光刻的双眼

现在美国国家标准和技术研究院（NIST）已经发明了一项技术使用中子束来使半导体制造商可以清楚的修整曝光物质和不需要曝光的光刻胶中间的纳米级接口。

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