吉时利联合Stratosphere Solutions研发65nm以下先进工艺特征分析技术


美国吉时利（Keithley）仪器公司日前宣布将与Stratosphere Solutions公司合作。Stratosphere Solutions致力于面向集成电路制造提供能够提高工艺参数成品率的新型解决方案。吉时利与Stratosphere Solutions合作后将采用阵列TEG（测试元件组）技术展开先进工艺研发和监测工作。