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2007-04-23 利用测时仪测量交流信号的直流偏移
  在如今的半导体领域，要确定集成电路器件的功能性是否满足要求，往往需要对其进行多种电测试。其中一项就是测量器件的时序，这时必须用到测时仪(TMU)
2006-12-20 KLA-Tencor光学叠对测量系统提升45纳米工艺能力
  KLA-Tencor, Inc.推出Archer 100光学叠对测量系统Archer 100，这个45纳米的生产工具可解决先进显影的独特挑战，准确度和TMU(总测量不确定度)的改善幅度超过30%以上，并明显增加浸润式显影与未来双图样显影技术的准确性与生产能力。



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